mi9700
■独特检查算法
■充实单元支持精密检查
设备参数:
设备型号 |
MI9700 |
光源 |
红色LED |
可承载面板尺寸 |
玻璃台面:715 (X) × 790(Y) mm 玻璃掩膜冶具单元:610(X) × 770(Y) mm |
*检查面积 |
玻璃台面:660 (X) × 720(Y) mm 玻璃掩膜冶具单元:540(X) × 710(Y) mm |
尺寸系统(W × D × H) |
主部件:1,160×2,072×1,445mm 真空泵单元(选项):222×800×410mm |
重量 |
主部件:950kg 真空泵单元(选项):7kg |